兴邦废气处理设备

兴邦硅烷废气处理

硅烷作为一种提供硅组分的气体源，可用于制造高纯度多晶硅、单晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、异质硅、各种金属硅化物。硅烷广泛应用于微电子、光电子工业，用于制造太阳电池、平板显示器、玻璃和钢铁镀层，并且是迄今世界上一的大规模生产粒状高纯度硅的中间产物。硅烷又以它特有的自燃、爆炸性而着称。硅烷有非常宽的自发着火范围和较强的燃烧能量，决定了它是一种高危险性的气体。
根据环保要求及废气的来源组分，多晶硅生产过程中废气的处理，实际是对废气中的氯硅烷气体进行有效的去除处理。因此，只需使处理后的废气符合二氧化硅的大气排放标准即可。
目前，多晶硅生产过程中废气的主要处理方法有焚烧法、水洗法、碱淋洗法，其中碱洗法根据使用的材料分为氢氧化钠处理法和氢氧化钙处理法。我公司一般用燃烧和洗涤法。
1、燃烧法
燃烧法的主要原理是在有氧和助燃材料的条件下，废气在燃烧炉内进行高温燃烧水解，从而将废气转化为含有二氧化硅、和水蒸气的高温烟气，通过对高温烟气的换热、拦截和降温吸收，以蒸汽的方式回收烟气中的热量，同时以副产物的形式回收烟气中的二氧化硅和盐酸，剩余烟气经淋洗后达标排放。
2、洗涤法
洗涤法的原理是用碱液主要包括氢氧化钠和氢氧化钙溶液，碱液与废气中的氯硅烷同样在几级串联的淋洗塔内或是密闭的反应釜内进行水解中和反应，产生硅酸钠、氯化钠、或是硅酸钙、氯化钙、少量二氧化硅和水，处理后的废气主要为氮气、氢气和水蒸气达标排放。碱液淋洗后产生的废碱水经中和压滤后固渣外运填埋。
工艺流程：多晶硅生产过程中产生的废气、废液通过缓冲罐缓冲后，进入焚烧炉进行高温氧化反应，把氯硅烷彻底有效地分解，生成SiO：、HCl等，出焚烧炉的高温烟气含有大量的热量，进入降温塔进行降温，通过水的喷淋降低烟气温度，喷淋降温塔出来的盐酸经过石墨换热器与冷却水换热冷却后进人喷淋装置继续对烟气进行降温，除尘降温后的烟气进入盐酸回收装置回收盐酸，剩余烟气中少量的Cl2和HCl通过碱液淋洗塔淋洗，后经气水分离器将处理后的烟气通过引风机进入烟囱排放。

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